Soňky ýyllarda biziň ýurdumluat igore tehnologiýasym çalt ösýär, we onuň amaly ýerleri hem giňelýär. Häzirki zaman ölçemek tehnologiýasynyň iň ýetişen tehnologiýasy, täze tehnologiýalar, täze materiallar we täze prosesler bilen yzygiderli täze kurslar yzygiderli ýüze çykýar we.
Bejçeg datçigi, basyş signalylaryny ýüze çykarmak we käbir düzgünlere görä elektrik signllerine öwürmek üçin ulanylýan enjamdyr. Dürli önümçilikde, senagat we arros intaktorlarynda milli hereketlendiriş meýdanlarynda giň gerimli nebit guýulýar. Şeýle temperatura meýdanlarynyň belli bir ugurdan ýokary-uly we berk gurşawda 120 ° k-den pesdir we berk gurşawda 120 ° C çenli). ° C) basyş ölçemekde şowsuzlyga sebäp bolar. Şonuň üçin ýokary temperaturap, ýokary temperatura basyşy barlag örän möhüm gözleg uguruna öwrülýär.
Highokary temperatura basyşly datçikleriniň klassifikasiýasy
Ulanylan dürli materiallara görä, köp sanly maksatly basyşly basyş duýgur dyndaky dynlakaý praktik basyş müdirine, şaýça uçarynyň ýokary temaly basyş gözegkärlerine, Si-daýhub (Safriçuradaky ýokary derejeli basyş "Sadicton) dini (Safir) daýyn basyş duýgur datçik datçikleri, häzirki ösüş ýagdaýyndan başga dürli görnüşli. Gözleg ýagdaýy we SOI-nyň ýokary derejeli basyşly basyşlaryň synagynyň geljegi gaty idealdyr. Aşakdakylar esasan SOI ýokary temperaturanyň basyşyny datçigini hödürleýär.
SOI ýokary temperaturanyň basyşy senesi
SoI ýokary derejeli basgançagyň ösüşi, hersi substructi bilen möldüriji we subçeron gatlakyň arasynda emele gelen şemaly enjam gatlagy. Sore enjamyň paýdarlary. Goşunyň gatançynyň ýokary temperiýurasy ýokary temperatura meňzeş häsiýeti sebäpli, ýokary temperatura basyşly basyşly basyş duýgusyny taýýarlamak üçin ideal material bolýar.
Häzirki wagtda SOI-nyň iň ýokary temperaturanlary -ND-lügi üstünlikli işlenip düzüldi we ABŞ-daky Uly Şertihokary ştat Highereňen Beýik Ştatyň uly saglyk merkezi tarapyndan döredilen ýokary temperaturasy barha artyk basyşy; Fransiýanyň ýerine institut tarapyndan şeýle-da ýokary temperaturaly basyşly ýylylyk legesi 400-den ýokary kömek mekdebi, Sianjin uniwersiteti we Pekekli uniwersitet ýaly ýokary temperaturanyň basyşly basyşly basyşly basyş boýunça gözlegleri işjeň çözýär. Mundan başga-da, Fatrienimiziň çydamly ösen tehnologiýa instituty FATRY instituty welaýaty amala aşyrylýar, häzirki taslama görkezilmegi proýektura başlady.
SOI ýokary temperaturamyň basyş ýörelgesiniň işleýjüsi
Propsiýasyna esaslanýan SOI HARTER KARTITA-QWIST-iň hereketi bilen meşgullanýanlar 2 (a) suratda görkezilişi ýaly bugdaýyň gatlagy; Basyşly duýgur gurluşy emele getirmek üçin SOI substratda bir substratda gämi gatnawy.
2-nji surat (a) Bugdaý daşky köpri
Bas basyşly enjam howa basyşyna geçirilende, meniň ýerine öwrülmek
SOI ýokary temperaturanyň basyşly basyşynyň ekinment prosesi
SOI-nyň ýokary temperaturasyny taýýarlamak owyňdiş prosesi birnäçe memes işlerini öz içine alýar. Käbir esasy ädimler bu ýerde piezoresistory piezoresistikoryna taýýarlamak, metozorares Dresressiýa taýýarlyk, metal gurşagyň taýýarlygy, basyşly film taýýarlamak, basyşly film taýýarlamak öýlerine gaplamak öýünden düzmek.
Volmistriýalary taýýarlamagyň açary doping konsentrasiýasyna we indiki ECH-ni goldýan döwründe gözegçiligde durýar; Metal gurama gatlagy esasan bugdaý daşatyň birikmesi bilen hyzmat edýär; Beşewi janlandyryja duýgur filmiň taýýarlanmagy, esasan çuňňur silnius orternasyna gaçýar; Boşlugyň gaplamasy, adatça, basyş duýgusynyň ulanylyşyna baglylykda üýtgeýär,
Mukaddes Soragly basyşly dildiş ugurda geljekki gözleg sanawynda geljekde gözlegleriň, ýokary möhletli durnuklylyk durmuşynyň uzak möhletleýin durnuklylygy we öz-özüne bolan meseleleri çözmäge gönükdirmeli. aspekt.
Elbetde, akylly döwrüň başdan geçirmesi, öz-özüňi öwezini dolanmak, öz-özüňi öwezini dolmagyň we datçik öndürijiligini üýtgetmek mistiongicomerationan hereketini doly ýerine ýetirmek bilen has ýokary dogru-beton funksiýalary ýeke-täk inweuny yzarlap talap edýär. .
Timing Wagt: Fewral-13-2023